超聲波水浸C掃描顯微鏡也叫水浸超聲C掃描系統(tǒng)、超聲掃描顯微鏡,是一種高精度的工業(yè)無損檢測成像設(shè)備,核心原理是利用超聲波在不同介質(zhì)中的傳播反射特性,以水作為耦合介質(zhì)對樣品內(nèi)部缺陷進(jìn)行檢測成像。
超聲波水浸C掃描顯微鏡的核心原理可概括為水浸聲學(xué)耦合、高頻超聲穿透傳播、聲阻抗差異反射、回波信號(hào)解析、二維層析成像,基于超聲波在不同介質(zhì)中的傳播與反射特性,實(shí)現(xiàn)材料內(nèi)部缺陷的無損可視化檢測,整體檢測流程分為五個(gè)階段。
第一,聲學(xué)耦合傳導(dǎo)。將待測樣品浸沒于純水介質(zhì)中,超聲波探頭發(fā)射的高頻聲波先通過純水傳播至樣品表面。水的聲學(xué)特性與固體材料匹配度高,可有效消除空氣阻隔帶來的聲波反射損耗,讓超聲波有效、均勻地穿透進(jìn)入樣品內(nèi)部,為準(zhǔn)確檢測奠定基礎(chǔ)。
第二,聲波分層傳播與差異反射。超聲波在均勻材料內(nèi)部傳播時(shí)波形穩(wěn)定、能量損耗均勻;當(dāng)聲波傳播至材料內(nèi)部缺陷界面(空洞、裂紋、分層、脫粘)時(shí),因空氣、缺陷介質(zhì)與基體材料聲阻抗差異極大,會(huì)發(fā)生強(qiáng)烈的反射、散射現(xiàn)象,而完好區(qū)域的聲波可正常穿透或底部反射,形成明顯的信號(hào)差異。
第三,回波信號(hào)采集與轉(zhuǎn)換。探頭實(shí)時(shí)接收樣品內(nèi)部各界面的反射回波,將聲波信號(hào)轉(zhuǎn)化為電信號(hào)。系統(tǒng)通過區(qū)分回波的傳播時(shí)間、信號(hào)強(qiáng)度、相位差異,精準(zhǔn)判定缺陷的深度、位置與面積:缺陷越大、界面差異越明顯,回波信號(hào)強(qiáng)度越高。
第四,全域掃描數(shù)據(jù)采集。伺服平臺(tái)帶動(dòng)探頭完成樣品XY平面全域掃描,逐點(diǎn)采集每一處位置的超聲回波數(shù)據(jù),記錄所有點(diǎn)位的信號(hào)特征,形成完整的樣品內(nèi)部數(shù)據(jù)矩陣。
第五,C掃描圖像重構(gòu)與分析。系統(tǒng)將采集的全域數(shù)據(jù)通過色彩灰度成像處理,以不同顏色、亮度區(qū)分完好區(qū)域與缺陷區(qū)域,生成直觀的二維平面C掃描圖像,清晰展示缺陷的形狀、分布、面積與位置,同時(shí)可結(jié)合A、B掃描模式完成深度定位與剖面分析,實(shí)現(xiàn)缺陷準(zhǔn)確量化檢測。